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          標準文獻 STANDARD DOCUMENT
          
            
          
            	
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          真空常用數據表
          
                 
          
                     時間：2009/11/30
                     來源：浙江揚子江泵業有限公司
                 
          
              
          
              
          
              		
          
	
		
          
			
				關鍵詞：真空區域劃分、真空計及規管對照表、抽氣速率單位換算表、壓強單位換算表 、真空泵的種類及其工作范圍。
		
          
	          

          

          
	
		
          
			
				
		
          
	          

          

          
	
		
          
			
				
          
					 
          
				
          
					1、真空區域劃分
          
				
          
					
          
						
							
          
								
									
          
										真空區域
          
								          		
								
									
          
										壓強范圍
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										托(Torr)
          
								          		
								
									
          
										帕(Pa)
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										低真空
          
								          		
								
									
          
										760~10
          
								          		
								
									
          
										101325~1333
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										中真空
          
								          		
								
									
          
										10~10-3
          
								          		
								
									
          
										1333~1.33×10-1
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										高真空
          
								          		
								
									
          
										10-3~10-8
          
								          		
								
									
          
										1.33×10-1~10-6
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										超高真空
          
								          		
								
									
          
										10-8~10-12
          
								          		
								
									
          
										10-6~10-10
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										極高真空
          
								          		
								
									
          
										＜10-12
          
								          		
								
									
          
										＜10-10
          
								          		
							
          
						          
					
          
				
          
				
          
					　
          
				
          
					 
          
				
          
					2、長度-英制對照表
          
				
          
					
          
						
							
          
								
									
          
										單位
          
								          		
								
									
          
										米(m)
          
								          		
								
									
          
										英尺(ft)
          
								          		
								
									
          
										英寸(in)
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										1米(1m)
          
								          		
								
									
          
										1
          
								          		
								
									
          
										3.28
          
								          		
								
									
          
										39.37
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										1英尺(1ft)
          
								          		
								
									
          
										0.305
          
								          		
								
									
          
										1
          
								          		
								
									
          
										8.33
          
								          		
							
          
							
          
								
									
          
										1英寸
          
								          		
								
									
          
										0.0254
          
								          		
								
									
          
										12
          
								          		
								
									
          
										1
          
								          		
							
          
						          
					
          
				
          
				
          
					 
          
				
          
					
          
						 
          
					
          
						3、重量：公斤-磅-央士對照表
          
					
          
						
          
							
								
          
									
										
          
											單位
          
									          		
									
										
          
											公斤(kg)
          
									          		
									
										
          
											英磅(Ib)
          
									          		
									
										
          
											央士(oz)
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											1公斤
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											2.2
          
									          		
									
										
          
											35.27
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											1磅
          
									          		
									
										
          
											0.45
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											16
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											1央士
          
									          		
									
										
          
											0.03
          
									          		
									
										
          
											0.06
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
								
          
							          
						
          
					
          
					
          
						　
          
					
          
						 
          
					
          
						4、各種真空計及規管對照表
          
					
          
						
          
							
								
          
									
										
          
											真空計名稱
          
									          		
									
										
          
											電阻真空計
          
									          		
									
										
          
											熱偶真空計
          
									          		
									
										
          
											1.熱陰極電離真空計
          
											2.壓強自動控制儀
          
									          		
									
										
          
											冷陰極碰控
          
											真空計
          
									          		
									
										
          
											中真空計
          
									          		
									
										
          
											超高真空計
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											規管名稱
          
									          		
									
										
          
											電阻規管
          
									          		
									
										
          
											熱偶規管
          
									          		
									
										
          
											電離規管
          
									          		
									
										
          
											冷陰極規管
          
									          		
									
										
          
											中真空規管
          
									          		
									
										
          
											B-A規管
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											規管型號
          
									          		
									
										
          
											ZJ-52T
          
									          		
									
										
          
											ZJ-51(DL-3)
          
											ZJ-53
          
									          		
									
										
          
											ZJ-27(DL-9)
          
											ZJ-2(DL-2)
          
											ZJ-10(DL-5)
          
									          		
									
										
          
											M014
          
									          		
									
										
          
											DL-5
          
											DL-8
          
									          		
									
										
          
											ZJ-32
          
											ZJ-32BC
          
											ZJ-12
          
									          		
								
          
							          
						
          
					
          
					
          
						　
          
					
          
						 
          
					
          
						5、絕對溫度、攝氏、華氏溫度對照表
          
					
          
						
          
							
								
          
									
										
          
											溫度形式
          
									          		
									
										
          
											K(絕對溫度)
          
									          		
									
										
          
											℃(攝氏)
          
									          		
									
										
          
											°F(華氏)
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											K(絕對溫度)
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											℃+273.15
          
									          		
									
										
          
											5/9(°F+459.67)
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											℃(攝氏)
          
									          		
									
										
          
											K-273.15
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											5/9(°F-32)
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											°F(華氏)
          
									          		
									
										
          
											9/5(K-459.67)
          
									          		
									
										
          
											9/5(℃+32)
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
								
          
							          
						
          
					
          
					
          
						　
          
					
          
						 
          
					
          
						6、抽氣速率單位換算表
          
					
          
						
          
							
								
          
									
										
          
											單位
          
									          		
									
										
          
											立方米/秒(m3/s)
          
									          		
									
										
          
											升/秒(L/s)
          
									          		
									
										
          
											立方米/小時
          
									          		
									
										
          
											立方英尺/分
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											1立方米/秒(1m3/s)
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											1000
          
									          		
									
										
          
											3600
          
									          		
									
										
          
											2118.88
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											1升/秒(1L/s)
          
									          		
									
										
          
											10-3
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											3.6
          
									          		
									
										
          
											2.119
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											1立方米/小時(1m3/h)
          
									          		
									
										
          
											2.78×10-4
          
									          		
									
										
          
											0.278
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											0.59
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											1立方英尺/分(1cft/min)
          
									          		
									
										
          
											4.72×10-4
          
									          		
									
										
          
											0.47
          
									          		
									
										
          
											1.69
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
								
          
							          
						
          
					
          
					
          
						　
          
					
          
						 
          
					
          
						7、各種水的電阻率(歐姆)
          
					
          
						
          
							
								
          
									
										
          
											水
          
									          		
									
										
          
											海水
          
									          		
									
										
          
											劣質自來水
          
									          		
									
										
          
											優質自來水
          
									          		
									
										
          
											蒸餾水
          
									          		
									
										
          
											超凈水
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											電阻率
          
									          		
									
										
          
											10~10-2
          
									          		
									
										
          
											103
          
									          		
									
										
          
											104~105
          
									          		
									
										
          
											106
          
									          		
									
										
          
											107~108
          
									          		
								
          
							          
						
          
					
          
					
          
						　
          
					
          
						 
          
					
          
						8、20℃空氣在不同壓強下的分子平均自由程
          
					
          
						
          
							
								
          
									
										
          
											P(托)
          
									          		
									
										
          
											1
          
									          		
									
										
          
											10-3
          
									          		
									
										
          
											10-4
          
									          		
									
										
          
											10-5
          
									          		
									
										
          
											10-6
          
									          		
									
										
          
											10-9
          
									          		
								
          
								
          
									
										
          
											λ(厘米)　　
          
									          		
									
										
          
											4.72×10-3
          
									          		
									
										
          
											4.72
          
									          		
									
										
          
											47.2
          
									          		
									
										
          
											472
          
									          		
									
										
          
											4720
          
									          		
									
										
          
											4.72×106
          
									          		
								
          
							          
						
          
					
          
					
          
						 
          
					
          
						
          
							 
          
						
          
							9、常用壓強單位換算表
          
						
          
							
          
								
          
									
          
										
											
          
												
													
          
														 
          
												          		
												
													
          
														帕
          
														Pa 
          
												          		
												
													
          
														托
          
														Torr 
          
												          		
												
													
          
														微米汞柱
          
														μmHg 
          
												          		
												
													
          
														微巴
          
														μbar 
          
												          		
												
													
          
														毫巴
          
														mbar 
          
												          		
												
													
          
														大氣壓
          
														atm 
          
												          		
												
													
          
														工程大氣壓
          
														am 
          
												          		
												
													
          
														英寸汞柱
          
														inHg 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 Pa 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
												
													
          
														7.5
          
														×10-3 
          
												          		
												
													
          
														7.5 
          
												          		
												
													
          
														10 
          
												          		
												
													
          
														10-2 
          
												          		
												
													
          
														9.86923
          
														×10-6
          
												          		
												
													
          
														1.0197
          
														×105 
          
												          		
												
													
          
														2.953
          
														×10-4 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 Torr 
          
												          		
												
													
          
														133.32 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
												
													
          
														103 
          
												          		
												
													
          
														1333.2 
          
												          		
												
													
          
														1.3332 
          
												          		
												
													
          
														1.31579
          
														×10-3 
          
												          		
												
													
          
														1.3595
          
														×10-3 
          
												          		
												
													
          
														3.937
          
														×10-2 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 μmHg 
          
												          		
												
													
          
														0.13332 
          
												          		
												
													
          
														10-3 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
												
													
          
														1.3332 
          
												          		
												
													
          
														1.3332
          
														×10-3 
          
												          		
												
													
          
														1.31579
          
														×10-6 
          
												          		
												
													
          
														1.3595
          
														×10-6 
          
												          		
												
													
          
														3.937
          
														×10-5 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 μbar 
          
												          		
												
													
          
														10-1 
          
												          		
												
													
          
														7.5
          
														×10-4 
          
												          		
												
													
          
														7.5
          
														×10-1 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
												
													
          
														10-3 
          
												          		
												
													
          
														9.86923
          
														×10-7 
          
												          		
												
													
          
														1.0197
          
														×10-6 
          
												          		
												
													
          
														2.953
          
														×10-5 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 mbar 
          
												          		
												
													
          
														102 
          
												          		
												
													
          
														7.5
          
														×10-1
          
												          		
												
													
          
														7.5
          
														×102 
          
												          		
												
													
          
														103 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
												
													
          
														9.86923
          
														×10-4 
          
												          		
												
													
          
														1.0197
          
														×10-3 
          
												          		
												
													
          
														2.953
          
														×10-2 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 atm 
          
												          		
												
													
          
														101325 
          
												          		
												
													
          
														760 
          
												          		
												
													
          
														760×103 
          
												          		
												
													
          
														1013.25
          
														×103 
          
												          		
												
													
          
														1013.25 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
												
													
          
														1.0333 
          
												          		
												
													
          
														29.921 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 am 
          
												          		
												
													
          
														98066.3 
          
												          		
												
													
          
														735.56 
          
												          		
												
													
          
														735.56
          
														×103 
          
												          		
												
													
          
														980663 
          
												          		
												
													
          
														980663
          
														×10-3 
          
												          		
												
													
          
														0.967839 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
												
													
          
														28.959 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 inHg 
          
												          		
												
													
          
														3386 
          
												          		
												
													
          
														25.4 
          
												          		
												
													
          
														25.4×103 
          
												          		
												
													
          
														3.386×104 
          
												          		
												
													
          
														33.86 
          
												          		
												
													
          
														3.342
          
														×10-2 
          
												          		
												
													
          
														3.453
          
														×10-2 
          
												          		
												
													
          
														1 
          
												          		
											
          
											
          
												
													
          
														1 lb/in2 
          
												          		
												
													
          
														6895 
          
												          		
												
													
          
														51.715 
          
												          		
												
													
          
														51.715
          
														×103 
          
												          		
												
													
          
														6.895×104 
          
												          		
												
													
          
														68.95 
          
												          		
												
													
          
														6.805
          
														×10-2 
          
												          		
												
													
          
														7.031
          
														×10-2 
          
												          		
												
													
          
														2.086 
          
												          		
											
          
										          
									
          
								
          
							
          
						
          
						
          
							 
          
						
          
							 
          
						
          
							10、不同壓強下空氣分子密度
          
						
          
							
          
								
									
          
										
											
          
												P(托)
          
										          		
										
											
          
												1
          
										          		
										
											
          
												10-3
          
										          		
										
											
          
												10-4
          
										          		
										
											
          
												10-5
          
										          		
										
											
          
												10-6
          
										          		
										
											
          
												10-9
          
										          		
									
          
									
          
										
											
          
												n0(個/厘米3)
          
										          		
										
											
          
												4×1016
          
										          		
										
											
          
												4×1013
          
										          		
										
											
          
												4×1012
          
										          		
										
											
          
												4×1011
          
										          		
										
											
          
												4×1010
          
										          		
										
											
          
												4×107
          
										          		
									
          
								          
							
          
						
          
						
          
							　
          
						
          
							 
          
						
          
							11、真空油脂的主要性能
          
						
          
							
          
								
									
          
										
											
          
												名稱　　
          
										          		
										
											
          
												成分　　
          
										          		
										
											
          
												20℃時飽和蒸氣壓(托)
          
										          		
										
											
          
												高使用溫度(℃)
          
										          		
									
          
									
          
										
											
          
												2#
          
										          		
										
											
          
												高分子碳　　
          
										          		
										
											
          
												3.1×10-8
          
										          		
										
											
          
												30
          
										          		
									
          
									
          
										
											
          
												3#
          
										          		
										
											
          
												氧化合物　　
          
										          		
										
											
          
												10-9
          
										          		
										
											
          
												35
          
										          		
									
          
									
          
										
											
          
												4#
          
										          		
										
											
          
												皂基脂　　
          
										          		
										
											
          
												10-7~10-8
          
										          		
										
											
          
												130
          
										          		
									
          
									
          
										
											
          
												7501
          
										          		
										
											
          
												硅油加硅粉　　
          
										          		
										
											
          
												10-6以下　　
          
										          		
										
											
          
												-40~+200
          
										          		
									
          
								          
							
          
						
          
						
          
							 
          
						
          
							
          
								 
          
							
          
								12、力單位的換算 
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													　 
          
												
          
													達因(Dyn) 
          
											          		
											
												
          
													牛頓(N)
          
											          		
											
												
          
													　 
          
												
          
													斯坦 
          
											          		
											
												
          
													公斤力(kgf) 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													1 
          
											          		
											
												
          
													10-5 
          
											          		
											
												
          
													10-8 
          
											          		
											
												
          
													1.02×10-6 
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								13、功率單位換算
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													　 單位 
          
											          		
											
												
          
													馬力 
          
											          		
											
												
          
													千瓦 
          
											          		
											
												
          
													瓦 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													馬力(PS) 
          
											          		
											
												
          
													1 
          
											          		
											
												
          
													0.735 
          
											          		
											
												
          
													735 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													千瓦(kW） 
          
											          		
											
												
          
													1.36 
          
											          		
											
												
          
													1 
          
											          		
											
												
          
													1000 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													瓦(W) 
          
											          		
											
												
          
													1.36 
          
											          		
											
												
          
													0.001 
          
											          		
											
												
          
													1 
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								14、真空封膏特性
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													真空脂名稱 
          
											          		
											
												
          
													真空封脂 
          
											          		
											
												
          
													真空封泥 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													50＃ 
          
											          		
											
												
          
													80＃ 
          
											          		
											
												
          
													30＃ 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													溫度 
          
											          		
											
												
          
													50℃ 
          
											          		
											
												
          
													80℃ 
          
											          		
											
												
          
													30℃ 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													 
          
											          		
											
												
          
													10-7~10-8托 
          
											          		
											
												
          
													10-7~10-8托 
          
											          		
											
												
          
													5×10-4托 
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								15、各種橡膠特性表
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													橡膠種類 
          
											          		
											
												
          
													天然橡膠 
          
											          		
											
												
          
													丁基橡膠 
          
											          		
											
												
          
													丁腈橡膠 
          
											          		
											
												
          
													氟橡膠 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													特性1 
          
											          		
											
												
          
													耐水性，耐酸性，耐堿性良好 
          
											          		
											
												
          
													滲透率小 
          
											          		
											
												
          
													耐油良好 
          
											          		
											
												
          
													23型耐強酸 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													特性2 
          
											          		
											
												
          
													出氣量較大 
          
											          		
											
												
          
													升華嚴重 
          
											          		
											
												
          
													彈性較好 
          
											          		
											
												
          
													26型滲透率低出氣率小 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													真空范圍 
          
											          		
											
												
          
													1×10－5托 
          
											          		
											
												
          
													10－7托 
          
											          		
											
												
          
													10－8托 
          
											          		
											
												
          
													10-8托 
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													溫度 
          
											          		
											
												
          
													－30~80℃ 
          
											          		
											
												
          
													－30~150℃ 
          
											          		
											
												
          
													－30~120℃ 
          
											          		
											
												
          
													-20~200℃ 
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								16、面積單位換算
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													平方米(m2)
          
											          		
											
												
          
													平方厘米(cm2)
          
											          		
											
												
          
													平方毫米(mm2)
          
											          		
											
												
          
													平方市尺(sc2)
          
											          		
											
												
          
													平方英尺(ft2)
          
											          		
											
												
          
													平方英寸(in2)
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													1
          
											          		
											
												
          
													10000
          
											          		
											
												
          
													1000000
          
											          		
											
												
          
													9
          
											          		
											
												
          
													10.7639
          
											          		
											
												
          
													1550
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								17、容積單位換算
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													立方米　　
          
											          		
											
												
          
													升　　
          
											          		
											
												
          
													立方市尺　　
          
											          		
											
												
          
													英加侖　　
          
											          		
											
												
          
													美加侖(液體)
          
											          		
											
												
          
													立方英尺　　
          
											          		
											
												
          
													立方英寸
          
											          		
											
												
          
													日升
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													1
          
											          		
											
												
          
													1000
          
											          		
											
												
          
													27
          
											          		
											
												
          
													219.98
          
											          		
											
												
          
													264.18
          
											          		
											
												
          
													35.3147
          
											          		
											
												
          
													0.06103
          
											          		
											
												
          
													554.37
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								18、1號真空機械泵油的主要性能指標
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													項目　　
          
											          		
											
												
          
													運動粘離(厘泊)
          
											          		
											
												
          
													閃點(℃)
          
											          		
											
												
          
													飽和蒸汽壓20℃時(托)　
          
											          		
											
												
          
													比重(克/厘米3)
          
											          		
											
												
          
													分子量(克)
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													KK-1
          
											          		
											
												
          
													50℃時(47~57)
          
													100℃時(8~11)
          
											          		
											
												
          
													不低于15
          
											          		
											
												
          
													不高于4×10-5
          
											          		
											
												
          
													0.86
          
											          		
											
												
          
													333
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								19、國產擴散泵油性能指標
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													牌號
          
											          		
											
												
          
													1#
          
											          		
											
												
          
													2#
          
											          		
											
												
          
													3#
          
											          		
											
												
          
													274硅油
          
											          		
											
												
          
													275硅油
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													飽和蒸氣壓(托)20℃不大于
          
											          		
											
												
          
													4×10-8
          
											          		
											
												
          
													2×10-8
          
											          		
											
												
          
													2×10-8
          
											          		
											
												
          
													2×10-8
          
											          		
											
												
          
													1.7×10-8
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													運動粘度(厘泊)
          
											          		
											
												
          
													45~60
          
											          		
											
												
          
													55~65
          
											          		
											
												
          
													68~80
          
											          		
											
												
          
													38±3
          
											          		
											
												
          
													165±20
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													凝固點(℃)不高于
          
											          		
											
												
          
													-15
          
											          		
											
												
          
													-15
          
											          		
											
												
          
													-15
          
											          		
											
												
          
													-10
          
											          		
											
												
          
													-14~-18
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													閃點(℃)不低于
          
											          		
											
												
          
													230
          
											          		
											
												
          
													230
          
											          		
											
												
          
													230
          
											          		
											
												
          
													＞210
          
											          		
											
												
          
													＞243
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													比重(克/厘米2)
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													1.05~1.08
          
											          		
											
												
          
													1.09±0.02
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								20、真空泵的種類及其工作范圍
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													真空泵
          
											          		
											
												
          
													工作范圍(托)
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													真空泵
          
											          		
											
												
          
													工作范圍(托)
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													旋片真空泵
          
											          		
											
												
          
													760~5×10-4
          
											          		
											
												
          
													往復真空泵
          
											          		
											
												
          
													760~10-2
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													滑閥真空泵
          
											          		
											
												
          
													760~5×10-3　　
          
											          		
											
												
          
													吸附泵
          
											          		
											
												
          
													760~10-4
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													油增壓泵
          
											          		
											
												
          
													10-1~10-4
          
											          		
											
												
          
													濺射離子泵
          
											          		
											
												
          
													10-4~10-10
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													羅茨真空泵
          
											          		
											
												
          
													10-1~10-4　　
          
											          		
											
												
          
													鈦升華泵
          
											          		
											
												
          
													10-3~10-10
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													油擴散泵
          
											          		
											
												
          
													10-3~5×10-7　　
          
											          		
											
												
          
													分子泵
          
											          		
											
												
          
													10-3~10-10
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													水環真空泵
          
											          		
											
												
          
													760~25
          
											          		
											
												
          
													低溫泵
          
											          		
											
												
          
													10-3~10-10
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
							
          
								　
          
							
          
								 
          
							
          
								21、水在各種溫度下的飽合蒸氣壓
          
							
          
								
          
									
										
          
											
												
          
													溫度
          
											          		
											
												
          
													壓力
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													溫度
          
											          		
											
												
          
													壓力
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													℃
          
											          		
											
												
          
													Pa
          
											          		
											
												
          
													Torr
          
											          		
											
												
          
													℃
          
											          		
											
												
          
													Pa
          
											          		
											
												
          
													Torr
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													-13
          
											          		
											
												
          
													225.4
          
											          		
											
												
          
													1.691
          
											          		
											
												
          
													-10
          
											          		
											
												
          
													386.5
          
											          		
											
												
          
													2.149
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													-7
          
											          		
											
												
          
													361.9
          
											          		
											
												
          
													2.715
          
											          		
											
												
          
													-3
          
											          		
											
												
          
													489.6
          
											          		
											
												
          
													3.673
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													0
          
											          		
											
												
          
													610.4
          
											          		
											
												
          
													4.579
          
											          		
											
												
          
													3
          
											          		
											
												
          
													757.8
          
											          		
											
												
          
													5.685
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													7
          
											          		
											
												
          
													1001
          
											          		
											
												
          
													7.513
          
											          		
											
												
          
													10
          
											          		
											
												
          
													1228
          
											          		
											
												
          
													9.209
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													13
          
											          		
											
												
          
													1497
          
											          		
											
												
          
													11.23
          
											          		
											
												
          
													17
          
											          		
											
												
          
													1937
          
											          		
											
												
          
													14.53
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													20
          
											          		
											
												
          
													2337
          
											          		
											
												
          
													17.54
          
											          		
											
												
          
													23
          
											          		
											
												
          
													2808
          
											          		
											
												
          
													21.07
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													27
          
											          		
											
												
          
													3564
          
											          		
											
												
          
													26.74
          
											          		
											
												
          
													30
          
											          		
											
												
          
													4242
          
											          		
											
												
          
													31.82
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													33
          
											          		
											
												
          
													5029
          
											          		
											
												
          
													37.73
          
											          		
											
												
          
													37
          
											          		
											
												
          
													6274
          
											          		
											
												
          
													47.07
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													40
          
											          		
											
												
          
													7378
          
											          		
											
												
          
													55.32
          
											          		
											
												
          
													43
          
											          		
											
												
          
													8638
          
											          		
											
												
          
													64.80
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													47
          
											          		
											
												
          
													10610
          
											          		
											
												
          
													79.60
          
											          		
											
												
          
													50
          
											          		
											
												
          
													12330
          
											          		
											
												
          
													92.51
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													53
          
											          		
											
												
          
													14290
          
											          		
											
												
          
													107.2
          
											          		
											
												
          
													57
          
											          		
											
												
          
													17310
          
											          		
											
												
          
													129.8
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													60
          
											          		
											
												
          
													19910
          
											          		
											
												
          
													149.4
          
											          		
											
												
          
													63
          
											          		
											
												
          
													22840
          
											          		
											
												
          
													171.4
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													67
          
											          		
											
												
          
													27320
          
											          		
											
												
          
													205.0
          
											          		
											
												
          
													73
          
											          		
											
												
          
													35420
          
											          		
											
												
          
													265.7
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													77
          
											          		
											
												
          
													41870
          
											          		
											
												
          
													314.1
          
											          		
											
												
          
													83
          
											          		
											
												
          
													53400
          
											          		
											
												
          
													400.6
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													87
          
											          		
											
												
          
													62480
          
											          		
											
												
          
													468.7
          
											          		
											
												
          
													93
          
											          		
											
												
          
													78460
          
											          		
											
												
          
													588.6
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													97
          
											          		
											
												
          
													90920
          
											          		
											
												
          
													682.1
          
											          		
											
												
          
													100
          
											          		
											
												
          
													101325
          
											          		
											
												
          
													760.0
          
											          		
										
          
										
          
											
												
          
													101
          
											          		
											
												
          
													104980
          
											          		
											
												
          
													787.6
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
											
												
          
													　
          
											          		
										
          
									          
								
          
							
          
						
          
					
          
				
          
			          		
		
          
	          

          

              
          
              	
           
          
           
           
              
              
              
              
              
              
               	
           
        
          
        
        
          
     		
          
    
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